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產品詳情
  • 產品名稱:日本HONDA本多石英振動體類型清洗機重慶代理

  • 產品型號:石英振動體清洗機[高頻率]|W-357-1MQG-SKC
  • 產品廠商:HONDA本多
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簡單介紹:
石英振動體清洗機[高頻率]|W-357-1MQG-SKC
詳情介紹:

石英振動體類型

下一代清洗技術,實現低損害和高清潔度

2006年,世界上**臺石英振動體超聲清洗裝置投入實際使用。
在這種方法中,通過在石英振動體上疊加超聲波對半導體晶圓進行清洗。
與批量清洗和流水清洗相比,可以減少化學品的使用量,由于只有石英玻璃與液體接觸,沒有墊片等橡膠材料與液體接觸,因此能保持較高的清潔度。
石英振動體有不同的形狀,以適應不同的用途,能夠根據需要進行有效的清洗,如低損傷清洗、大面積清洗、斜面(邊緣表面)和缺口(晶圓邊緣表面的缺口)的清洗等。

概述

特長

對具有細微結構的晶片進行低損傷清洗
■通過在石英振動元件上疊加超聲波對半導體晶片進行清洗。
將超聲波振動從石英振動元件通過化學溶液傳播到半導體晶片上,接觸區的化學溶液振動,加速去除表面污染。
■清潔度高,對半導體晶圓的損害*小。
與使用橡膠材料(如墊片)的設備相比,使用石英與化學溶液接觸,可以確保清潔,而不會有橡膠溶出。
■震蕩器冷卻功能通過用氣體(如氮氣)冷卻震蕩器,可以實現穩定的連續工作,沒有頻率波動。
冷卻還能確保沒有溫度的突然變化,從而延長使用壽命。

用途

膠體殘留物的**
封邊和灰化后的聚合物**
柵電極極清洗
CMP后的清洗

規格

■發振器

類型 W-357-1MQG-SKC
振蕩模式 單頻震蕩
額定輸出 12W
標稱震蕩頻率 1MHz
電源輸入 AC100V~240V
單相50/60Hz 300VA
外部尺寸
WxDxHmm
180×250×100
(不包括凸出部分,包括橡膠腳)
質量 2.2kg

●可變的輸出范圍:0W到12W(振動體的允許輸入:當使用空氣吹掃冷卻時,連續10W)。
●周圍操作環境:溫度:15至35℃,濕度:10至85%。
●外部驅動觸點額定值:超聲波振蕩控制(控制側)觸點輸入:12 V DC 16 mA min.
報警輸出(主單元)觸點容量:24 V DC 0.5 A
■附屬電纜:電源線(100V為2米/200V為3米),控制線(5米)x4

■振動體

流量 未指明定
全長 159mm
卡盤尺寸 φ24mm
照射面積 24cm2
質量 600g

●工作液體溫度范圍:20-50℃。
●換能器:PZT
●材料:振動器:石英玻璃,墊片:硅橡膠,外殼:PCTFE
●線長:輸出線1.5米+繼電器線3.5米
●冷卻氣體接頭:兼容管(外徑?6)
*2MHz和3MHz也可根據特別訂單提供。

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